Чипурнов С.А. Использование распределенного ВЧ генератора для возбуждения низкотемпературной плазмы в протяженном реакторе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.09.10 / С. А. Чипурнов, 1999. - 14 с. - Текст : непосредственный.