Арсеньев П.А. Конструктивные биометариалы : учеб. пособие по курсу "Технология полупроводниковых материалов" для студентов по направлению "Электротехника, электромеханика и электротехнологии". Ч. 1 : Методы и приборы для измерения геометрических размеров имплантатов, 2015. - 27 с. - Текст : непосредственный.