Спесивцев Е.В. Исследование и разработка лазерных сканирующих эллипсометров высокого пространственного разрешения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.07 / Е. В. Спесивцев, 2001. - 23 с. - Текст : непосредственный.