Обижаев Д.Ю. Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.02.01 / Д. Ю. Обижаев, 2008. - 22 с. - Текст : непосредственный.