Знакосинтезирующая электроника: фотолитография : Учеб.пособие для хим. и приборостроит. спец. вузов / В.П.Севостьянов,Б.К.Решетников,И.В.Мраморнов,М.Л.Каширский, 1993. - 138 c. - Текст : непосредственный.