Дюжев Н.А. Элементный базис нано- и микросистемной техники : учебное пособие / Н. А. Дюжев, В. Ю. Киреев, 2019. - 139 с. - Текст : непосредственный.
Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2 : Учебное пособие. Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2 / Артамонова Е. А., 2013. - 688 с. - Текст : электронный.
Нанотехнологии в электронике-3.1 / Амиров И. И., 2016. - 480 с. - Текст : электронный.