Состояние разработок и перспективы использования ЭЦР источников плазмы для технологических процессов формирования пленочных структур в микроэлектронике и оптике / А.С.Вус,А.М.Дудкина,В.А.Дудкин и др., 1990. - 55 с. - Текст : непосредственный.