Полное описание

Мьо Хейн Зо. Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / Мьо Хейн Зо. - М., 2008. - 27 с. : ил. - Библиогр.: с. 26-27(12 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76-047.84:776(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар08-5787)

Шифр в сводном ЭК: 3c789fa403618a01f5fac3689f30fd65

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽