Электронный каталог

    страница из
    всего найдено записей: 5,
      отображать

    Редин В.М. Вопросы движения воздушных потоков с загрязняющими примесями в технологических объемах : материалы временных коллективов / В. М. Редин, А. М. Терещенко, 1990. - 77 с. - Текст : непосредственный.

    Лицевая сторона карточкиОбратная сторона карточки

    Редин В.М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01,05.27.07 / В. М. Редин, 1992. - 41 с. - Текст : непосредственный.

    Технологическое оборудование микроэлектроники : Сб. науч. тр. / Моск.ин-т электронной техники, 1993. - 68 с. - Текст : непосредственный.

    Расчет и проектирование элементов технологического оборудования микроэлектроники по критерию привносимой дефектности : Материалы к 3-й науч.-техн. конф. "Экология микроэлектроники-90" / В.З.Гребенкин,В.М.Редин,Е.А.Сахаров и др.;Под ред. В. З. Гребенкина, 1990. - 113 с. - Текст : непосредственный.