Полное описание

Ефремов, М. Д. Дефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно-термических обработках : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / М. Д. Ефремов. - Новосибирск, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Рос.АН. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников.Библиогр.:с.16(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-1543)

Шифр в сводном ЭК: f5705cb2b99f46aae5b4ade79cbc847c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽