Полное описание
> Ташенов, Т. Б. Пассивация и реактивация глубоких уровней переходных металлов и серы в кремнии / Т.Б.Ташенов. - Алма-Ата : [б. и.], 1991. - 12 с. - (Препринт ; ФТИ 91-04). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.315.592.9(04) |
Рубрики:
Кремний -- Обработка
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/49929/ФТИ 91-04)>
Шифр в сводном ЭК: ee6f195c927addfc0c6edc37ed7f8f15
Заказ фрагмента документа ₽