Полное описание

Тешабаева, Н. А. Машинное моделирование распыления поверхности монокристалла в режиме прямого выбивания при скользящей ионной бомбардировке : специальность 01.04.04 "Физическая электроника" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Н. А. Тешабаева. - Ташкент, 1994. - 18 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: АН Респ.Узбекистан, Ин-т электроники им.У.А.Арифова. Библиогр.: с.15-16 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.793.184(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-2003)

Шифр в сводном ЭК: e626a269053d2efcf454789d54b07e9c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽