Полное описание
> International conference on insulating films on semiconductors (17 ; 2011 ; Grenoble). Proceedings of the 17th International conference on insulating films on semiconductors, June 21-24, 2011, Grenoble, France / International conference on insulating films on semiconductors (17 ; 2011 ; Grenoble) ; Ed. C. Leroux. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2011. - XII, 1044-1657 p. : ill. - (Microelectronic engineering ; 2011, Vol. 88, iss. 7). - Библиогр. в конце ст. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.09.29 | 621.315.592.9(063) | |
47.09.31 |
Рубрики:
Контакт полупроводник-диэлектрик -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
Leroux, C.\ed.\
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/2011, Vol. 88, iss. 7)>
Шифр в сводном ЭК: e59a7d0e6eed305ee19e3788565d1631
Заказ фрагмента документа ₽