Полное описание

Materials science forum : сборник. - Stafa-Zuerich : Trans tech publ., 19 - . - ISSN 0255-5476. - Текст : непосредственный.
Vol. 573-574 : Rapid thermal processing and beyond: applications in semiconductor processing : select. papers from RTP specialists all over the world, Dornstadt, Germany / ed.: W. Lerch, J. Niess. - 2008. - XVI, 432 p. : ill. - Библиогр. в конце ст. Указ.: с. 429-432. - ISBN 978-0-87849-391-3

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592-047.84(063)

Рубрики:
Полупроводники -- Термическая обработка -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Lerch, W.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего -20100804 : ПНТ (-20100805), (1)
Свободны: ПНТ (1), (1)
Копия:

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/15078/573-574)

Шифр в сводном ЭК: d4c76f513c99be5a73086c3bbfc6c02f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽