Полное описание

Уваров, Е. И. Разработка неразрушающих автоматизированных методов исследования полупроводников и полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.10 / Е. И. Уваров. - Новосибирск, 1997. - 15 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 14-15 (21 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.315.592.9:620.179(043)
	621.382:620.179(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-2577)

Шифр в сводном ЭК: d14ca625e4c2839fd047e1412c3f562b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽