Полное описание

Ушков, А. В. Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. В. Ушков. - М., 2008. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16(10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
59.37.33	681.586'33(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар08-3620)

Шифр в сводном ЭК: cd82d81cebd1b1d68191bf0c327be936

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽