Полное описание

Структурная диагностика и вещественный анализ современных наносистем с применением аналитического оборудования на основе прецизионной электронно-ионной сканирующей микроскопии / А. М. Тагаченков, Е. В. Зенова, Ю. В. Ануфриев, В. Ю. Дубровинский. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М., 2012. - С. 142-150. - Библиогр.: 2 назв.
ГРНТИ 47.13.33

Аннотация: Рассмотрены возможности исследовательского электронно-ионного сканирующего оборудования и методики анализа современных интегральных устройств, выполненных по субмикронной технологии, в том числе и перспективных.
Доп. точки доступа:
Тагаченков, А.М.
Зенова, Е.В.
Ануфриев, Ю.В.
Дубровинский, В.Ю.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20130909 : ПНТ (-20130909)
Свободны: ПНТ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -660023-538340)

Шифр в сводном ЭК: c851c2086fb3bb004a4a0ce03917dc4e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽