• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Эмексузян, В. М. Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / В. М. Эмексузян. - Новосибирск, 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Рос.АН,Сиб.отд-ние,Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: 16-18(21 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33621.382.002(043)
    47.33.31621.3.049.77-047.84(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-3550)

    Шифр в сводном ЭК: be31e3be32198132498c394422afc64f



    Заказ фрагмента документа ₽