Полное описание

Илясов, В. Ф. Разработка принципов построения и создание автоматизированных поверочных средств измерения малых расходов газа для микроэлектроники : специальность 05.13.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. Ф. Илясов. - М., 1990. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 18-20

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-01735)

Шифр в сводном ЭК: a833310579df5802b78968ce4b453d03

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽