• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Adams, T. M. Introductory mems : fabrication and applications / T. M. Adams, R. A. Layton ; SpringerLink (Online service). - Boston, Ma : Springer Science+Business Media LLC, 2010. - on-line. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-09511-0. - ISBN 978-0-387-09511-0. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    45.53621.31-184.4

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- ПРИМЕНЕНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Layton, R.A.
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-09511-0


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -751594)

    Шифр в сводном ЭК: 7de4662d2e12d461b401aac712a189f2



    Просмотр издания