Полное описание
> Урицкий, В. Я. Технологический контроль процесса производства интегральных микросхем : текст лекций / В.Я.Урицкий. - СПб : [б. и.], 1996. - 47 с. : ил. - 105 экз. - ISBN 5-7629-0069-X. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петерб.гос.электротехн.ун-т.Библиогр.:с.46 (12 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.01.81 | 621.3.049.77.002:658.562 | |
47.33.31 |
Рубрики:
Интегральные схемы -- Технический контроль
Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-96/37067)>
Шифр в сводном ЭК: 581344abc9d30c1804e619586069bffb
Заказ фрагмента документа ₽