Полное описание

Технология и техника ионной имплантации в производстве сверхбольших интегральных микросхем : учеб. пособие / А. Ю. Азов [и др.] ; Нижегор. гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева. - Н. Новгород : Нижегор. гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева, 2014. - 178 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 176-178 (23 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-502-00456-5. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14-047.84

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство
Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Азов, А.Ю.
Воротынцев, В.М.
Плотнов, А.В.
Скупов, В.Д.
Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-14/15310)

Шифр в сводном ЭК: 533b6a59413b258a532b4b6f3aed591d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽