• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen / K.Layendecker,W.Bacher,K.Bade,W.Stark. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - 87 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 5594). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.75-79

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002

    Рубрики:
    Микроэлектроды -- Производство
    Микроэлектронные приборы -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Layendecker, K.
    Bacher, W.
    Bade, K.
    Stark, W.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5594)

    Шифр в сводном ЭК: 44a9073aada22d5764f2a37ae003c07b



    Заказ фрагмента документа ₽