Полное описание

Kohlhof, K. Herstellung und Wachstum einkristalliner Si/CoSi2/Si-Heterostrukturen nach Hochdosis-Ionenimplantation : Diss / K.Kohlhof. - K@:oln, 1989. - 88 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.82-87
Перевод заглавия: Получение и рост монокристаллических гетероструктур Si/CoSi2/Si после высокодозисной имплантации ионов:Дис.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Рубрики:
Гетеропереходы

Кл.слова (ненормированные): ГЕТЕРОПЕРЕХОД
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/21691)

Шифр в сводном ЭК: 33b6110dfc88e787d27f445895856747

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽