Полное описание

Ярышевский, М. А. Исследование и разработка интегральных преобразователей влажности для контроля технологических сред микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / М. А. Ярышевский. - М., 1991. - 23 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электронной техники. Библиогр.:с. 21-23(16 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(043)
	681.586'33(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-013135)

Шифр в сводном ЭК: 2d831d772b021a934eae4e4cfd58a0f8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽