Полное описание

Leach, R. Fundamental principles of engineering nanometrology / R. Leach. - Oxford [etc.] : William Andrew: Elsevier, 2010. - XXVI, 321 p. : ill. - (Micro & nano technologies series). - Библиогр. в конце частей. Указ.: с. 317-321. - ISBN 978-0-08-096454-6. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
90.01	006.91-022.532

Рубрики:
Нанометрология

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/28215)

Шифр в сводном ЭК: 22c9ffb4f921af6dbf3350ec6b92233d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽