Полное описание

Тагаченков, А. М. Исследование электрофизических и морфологических свойств и поверхностных явление в гетерогенных твердотельных наноразмерных системах / А. М. Тагаченков. - 2010. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24 (9 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14(043)

Аннотация: Разработка физико-технологических основ комплекса аппаратных средств и высокоразрешающих методов диагностики электрофизических и морфологических свойств интегральных микросхем, изготовленных по субмикронным и наноразмерным проектным нормам, основанных на применении остросфокусированного ионного зонда и сканирующей зондовой микроскопии.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-23163)

Шифр в сводном ЭК: 1dc2ba51fc9a6ec63bd3d190c441be00

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽