• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Rapid isothermal processing : proc. of the meet., 12-13 Oct.1989,Sants Clara(Ca) / Ed. R. Singh. - Bellingham (Wa) : [s. n.], 1990. - VI,204 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; 1189). - ISBN 0-8194-0225-7. - Текст : непосредственный.
    Библиогр. в конце статей. - Указ.: с. 204
    Перевод заглавия: Быстрая изотермическая обработка:Труды совещания, Санта Клара (Калифорния), октябрь 1989

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.002(063)

    Рубрики:
    Полупроводники -- Обработка -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК
    Доп. точки доступа:
    Singh, R.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/7309/1189)

    Шифр в сводном ЭК: c9752f73a03fe4cb7ccd067dbb52b759



    Заказ фрагмента документа ₽