Полное описание

Многослойные резистные системы для микролитографических процессов профилированных поверхностей подложек / ВЦП. - 11 c. : ил. - нем. - Пер.ст. Mehrschicht-Resist-System e fur Microlithografieprozesse von profilierten Substratoberflochen / B. Spangeberg, Danew из журн.: // Nachrichtentechnik-Elektronik. - 1987. - Vol. 37, N12. - P.471-473. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:17 назв.
ГРНТИ 47.13.17

Рубрики:
Фоторезисты

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- МНОГОСЛОЙНАЯ СТРУКТУРА -- ПРОВОДЯЩИЕ ЛИНИИ -- РЕЗИСТИВНАЯ СТРУКТУРА
Доп. точки доступа:
Spangeberg, B.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 95/153)

Шифр в сводном ЭК: b29523ee8fc49b6e0d6e9cf0a93b350b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽