Полное описание

Д10-14/4687
621.3.049.76-047./621.3.049.76-047./
Гаврилов, С. А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов. - 2-е изд. - М. : РИОР : Инфра-М, 2014. - 239 с. : ил. - (Высшее образование - Бакалавриат). - Библиогр.: с. 235-236 (26 назв.). - 700 экз. - ISBN 978-5-369-01299-4 : Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84
47.33.31	621.384-022.532-047.84

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Наноэлектронные устройства -- Производство

Аннотация: Приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологий.
Доп. точки доступа:
Белов, А.Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Заказаны экз-ры для отделов: фо25

Обложка

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽