Полное описание

Д11-24/32823
621.5/В 148
Вакуумные системы в проектировании, производстве и исследовании материалов электронной техники / В. Г. Косушкин, И. В. Силаев, Л. В. Кожитов [и др.] ; Министерство науки и высшего образования РФ, Северо-Осетинский государственный университет имени К. Л. Хетагурова [и др.]. - Владикавказ : СОГУ им. К. Л.