Полное описание

Н/14892/30
004/Ф 503
Физико-технологический институт им. К. А. Валиева (Москва).
Труды ФТИАН : сборник / Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К. А. Валиева ; ответственный редактор В. Ф. Лукичёв. - Москва : Наука, 1991 - . - ISSN 0868-7129. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Т. 30 : Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование. - 2022. - 109, [3] с. : ил. - Парал. загл. ст., аннот. англ. - Библиогр. в конце ст. - 550 экз. - ISBN 978-5-02-040925-5. - DOI 10.7868/9785020409255 : 200 р.

ГРНТИ	УДК
50.33.39	004:530.145
47.33.37	621.3.049.76
	621.38-022.532

Рубрики:
Квантовые компьютеры
Микроэлектроника
Наноэлектроника

Кл.слова (ненормированные): кремний -- криогенное травление -- процесс десорбции -- компьютерное моделирование -- субмикронные кремниевые структуры -- проточные калориметры -- мощность пучков -- измерение
Аннотация: В настоящем томе "Трудов ФТИАН" рассматриваются существующие и недавно разработанные технологии DSE, предлагающие оптимальный выбор для конкретных приложений. Рассматриваются четыре типа процессов глубокого травления кремния: циклический оригинальный процесс Bosch и модифицированный, непрерывный процесс криотравления, циклический процесс STiGer и новый процесс Ox-Etch, разработанный и запатентованный в ФТИАН. Для широкого круга специалистов в области квантовых информационных технологий, микро- и наноэлектроники, а также студентов и аспирантов, обучающихся по соответствующим специальностям.
Доп. точки доступа:
Лукичёв, Владимир Федорович\ред.\
Лукичев, В.Ф.
Физико-технологический институт им. К. А. Валиева(Москва)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)
Обложка
Переход по DOI

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽