Полное описание

Д10-20/86314
621.383/М 864
Мочалов, Леонид Александрович. Плазмохимический синтез тонких пленок халькогенидов мышьяка и их модификация фемтосекундным лазером : учебное пособие / Мочалов Л. А., Логунов А. А., Воротынцев В. М. ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева. - Нижний Новгород : [б. и.], 2020. - 130 с. : ил. - Библиогр.: с. 122-130 (165 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-502-01216-4 : 100 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.33	621.383-03-047.84

Рубрики:
Оптоэлектронные приборы -- Материалы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): оптоэлектронные материалы -- планарные структуры -- халькогенидные пленки -- плазмохимический синтез -- плазмохимическое осаждение -- лазерная обработка
Аннотация: Учебное пособие посвящено получению высокочистых халькогенидных планарных структур As-S, As-Se, As-Te и As-Se-Te плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD). Будет полезно специалистам разного профиля, работающим в области физической химии, химии материалов и структур электронной техники и лазерной физики, а также студентам, специализирующимся в этом направлении.
Доп. точки доступа:
Логунов, Александр Александрович
Воротынцев, Владимир Михайлович
Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽