Полное описание

Д10-19/81708
621.38/К 591
Козин, Александр Андреевич. Технология перспективных материалов : учебно-методическое пособие / А. А. Козин, В. И. Шаповалов ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2019. - 99 с. : ил. - (Учебное пособие). - 46 экз. - ISBN 978-5-7629-2621-8 : 100 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.38-03-047.84(076.5)
47.13	621.383-03-047.84(076.5)

Рубрики:
Электронные материалы -- Производство
Оптоэлектронные приборы -- Материалы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- вакуумные системы -- магнетроны -- магнетронное распыление -- вакуумное испарение -- осаждение
Аннотация: Приведены описания лабораторных работ по изучению основ технологии перспективных материалов электроники и радиофотоники. Представлены следующие темы: магнетронное распыление, вакуумное испарение, работа магнетрона, вакуумных систем, исследования оптических свойств пленок.
Доп. точки доступа:
Шаповалов, Виктор Иванович
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽