Полное описание

Д10-18/66364
621.315.6/П 909
Пучково-плазменные методы обработки диэлектриков в форвакуумной области давлений : [монография] / А. С. Климов, А. А. Зенин, Д. Б. Золотухин [и др.] ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Изд-во ТУСУРа, 2018. - 107 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр. в конце разд. - 200 экз. - ISBN 978-5-86889-803-7 : 200 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.31	621.315.61-047.84

Рубрики:
Диэлектрики -- Обработка электронная

Аннотация: Представлены передовые и наиболее перспективные плазменно-эмиссионные методы обработки диэлектриков- керамики, стекла и др. Приведены результаты обработки, качественно изменяющей поверхностные свойства изделий. Рассмотрены методы создания слоев из материалов, улучшающих свойства поверхности.
Доп. точки доступа:
Климов, А.С.
Зенин, А.А.
Золотухин, Д.Б.
Тюньков, А.В.
Юшков, Ю.Г.
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)
Оглавление

Заказать издание
Заказ фрагмента документа

Просмотр издания