Полное описание

Образование фазы силицида при имплантации низкоэнергетичных ионов Mo+ и Ta+ в кремний / Э.Х.Еникеев,А.Г.Любимов,О.Р.Людчик и др.;... Отд. колебаний. - М. : [б. и.], 1990. - 24 с. : ил. - (Препринт / Институт общей физики(Москва) ; 72). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 14 (7 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592:669.046.516(04)

Рубрики:
Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Еникеев, Э.Х.
Любимов, А.Г.
Людчик, О.Р.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/72)

Шифр в сводном ЭК: ea2b7c4eb3bf3f8e6850c4b0c8c901aa

Заказать издание
Заказ фрагмента документа