• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Xu, Y. Chemical vapour deposition : an integrated engineering design for advanced materials / Y. Xu, X. Yan ; SpringerLink (Online service). - London : Springer, 2010. - on-line. - (Engineering materials and processes). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84882-894-0. - ISBN 978-1-84882-894-0. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    29.19539.23

    Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНЫЕ МЕТОДЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
    Доп. точки доступа:
    Yan, X.
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84882-894-0


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 539.23-407959)

    Шифр в сводном ЭК: 9155c1c19037029830a3631f981a4cbd



    Просмотр издания