Ююкин Н.В. Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Н. В. Ююкин, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный.