Гордеев Д.Д. Технология вертикально-интегрированных полупроводниковых структур для создания СБИС : Учеб. пособие / Д. Д. Гордеев, В. Н. Дягилев, Ю. А. Парменов, 1989. - 67 с. - Текст : непосредственный.
Приложение
для Android
