• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Бодров, Евгений Эдуардович. Основы технологии электронной компонентной базы : Учебное пособие / Е. Э. Бодров. - Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. - 204 с. - ISBN 978-5-9729-0846-2 : Б. ц.

    УДК
    621
    ББК
    3284
    РУБ
    11.03.04

    Рубрики:
    Радиоэлектроника. Автоматика. Связь

    Аннотация: Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых
    пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процесса производства. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».Экз-ры полностью RU\infra-m\znanium\bibl\1902462
    Нет сведений об экземплярах
    Электронная библиотечная система ZNANIUM
    https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg
    Кол-во выдач 0
    История корректировок



    Просмотр издания ЭБС ZNANIUM