Полное описание

Гаврилов, А. С. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : Учебное пособие / А. С. Гаврилов, А. Н. Белов. - 2. - Москва : Издательский Центр РИОР, 2019. - 240 с. - (Высшее образование: Бакалавриат). - ISBN 978-5-369-01299-4. - ISBN 978-5-16-100019-9. - ISBN 978-5-16-009298-0 : Б. ц.

	УДК
	544.6:621.3(075.8)

	ББК
	24.57я73

	РУБ
	28.04.03
	28.04.04
	11.04.04
	28.04.02
	28.04.01
	28.03.02
	28.03.03
	11.03.03
	11.03.04
	28.03.01

Рубрики:
Радиоэлектроника. Автоматика. Связь

Аннотация: Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов применяемых в технологии микро- и наноструктур которые интенсивно развиваются в последнее время.
В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур особенности получения и применения пористого кремния описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа катодного осаждения металлов и полупроводников их применение в технологии УБИС МЭМС и нанотехнологии.
Предназначено для студентов аспирантов научных работников и инженеров.
Нет сведений об экземплярах
Электронная библиотечная система ZNANIUM
https://znanium.com/cover/1013/1013436.jpg

Просмотр издания ЭБС ZNANIUM