• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Величко, Александр Андреевич. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II : Учебное пособие / А. А. Величко, Н. И. Филимонова. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет (НГТУ), 2014. - 227 с. - ISBN 978-5-7782-2534-3 : Б. ц.

    УДК
    621
    ББК
    312
    РУБ
    13.04.02
    13.03.02

    Рубрики:
    Радиоэлектроника. Автоматика. Связь

    Аннотация: Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс-
    периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и
    методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате-
    риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со-
    временной науке технике и технологии.
    Пособие предназначено для студентов обучающихся по направлению
    «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа
    и контроля наноструктурированных материалов и систем» «Методы исследова-
    ния микроэлектронных и наноэлектронных материалов» «Методы диагностики
    и анализа микро- и наносистем» и студентов обучающихся по направлению
    «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследова-
    ния микроэлектронных и наноэлектронных структур».Экз-ры полностью RU\infra-m\znanium\bibl\546528
    Нет сведений об экземплярах
    Электронная библиотечная система ZNANIUM
    https://znanium.com/cover/0546/546528.jpg
    Кол-во выдач 0
    История корректировок



    Просмотр издания ЭБС ZNANIUM