• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Каменская, Анна Викторовна. Основы технологии материалов микроэлектроники : Учебно-методическая литература / А. В. Каменская. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет (НГТУ), 2010. - 96 с. - ISBN 978-5-7782-1420-0 : Б. ц.

    УДК
    621
    ББК
    3285
    РУБ
    11.04.04
    11.03.04

    Рубрики:
    Радиоэлектроника. Автоматика. Связь

    Аннотация: В пособии кратко изложены основные представления о технологи-ческих методах и процессах используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ.
    Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направ-лений: 210100 «Электроника и микроэлектроника» 210600 - «Нано-технология» специальностей: 210104 - «Микроэлектроника и твердо-тельная электроника 210108 - «Микросистемная техника».Экз-ры полностью RU\infra-m\znanium\bibl\546218
    Нет сведений об экземплярах
    Электронная библиотечная система ZNANIUM
    https://znanium.com/cover/0546/546218.jpg
    Кол-во выдач 0
    История корректировок



    Просмотр издания ЭБС ZNANIUM