• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ар03-9483
    Саркаров, Т. Э. Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных устройств для интегральной электроники : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / Т. Э. Саркаров. - Нальчик : [б. и.], 2002. - 30 с. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 28-30 (30 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.09.31621.315.61-416.002(043)
    47.13.11621.3.049.771.14.002(043)
    Экз-ры полностью Ар03-9483
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽