• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР90-08275
    Жук, С. В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.05, 05.13.16 / С. В. Жук. - М. : [б. и.], 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. : Моск. ин-т тонкой хим. технологии им.М.В.Ломоносова. Библиогр.:с. 17-18(11 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.002:621.373.8(043)
    Экз-ры полностью АР90-08275
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽