Приложение
для AndroidПолное описание
Калитеевская, Н. А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская. - СПб. : [б. и.], 2001. - 22 с. + 100 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе РАН. Библиогр.: с. 21-22(8 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.35 | 621.3.049.77-047.84:776(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Масычев В.И. Разработка лазерного технологического оборудования управляемого объемного и поверхностного нагрева материалов электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / В. И. Масычев, 1997. - 43 с. - Текст : непосредственный.Жариков В.М. Исследование физических процессов взаимодействия излучения лазера на парах меди с материалами электронной техники и разработка технологии их прецизионной обработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.03.07 / В. М. Жариков, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный.Большепаев О.Ю. Исследование и разработка технологического процесса лазерной полировки стекломатериалов в приборостроении и электронной технике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / О. Ю. Большепаев, 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный.Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный.Прудник А.М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.Абрамишвили А.Д. Кристаллизация твердых растворов селенида свинца-селенида олова из паровой фазы под воздействием лазерного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. Д. Абрамишвили, 1991. - Текст : непосредственный.Горбаренко В.А. Активные оптические системы лазерных технологических установок для обработки и визуального контроля : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / В. А. Горбаренко, 1991. - 40 с. - Текст : непосредственный.Кияк С.Г. Модификация поверхности полупроводников лазерными импульсами миллисекундного и секундного диапазонов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / С. Г. Кияк, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный.Новрузов В.Д. Влияние лазерного излучения на фотоэлектрические свойства Cu S-CdS гетероструктур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / В. Д. Новрузов, 1990. - 21 с. - Текст : непосредственный.Левин А.Ю. Разработка экспресс-методик контроля и оптимизации процесса ионной имплантации малых доз в производстве СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Ю. Левин, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный.Новиков А.А. Физико-химические основы синтеза медь-фосфатных стеклообразных покрытий при воздействии лазерного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени Л. / А. А. Новиков, 1990. - 40 с. - Текст : непосредственный.Шахно Е.А. Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка : автореф. дис. .. д-ра техн. наук : 05.27.03 / Е. А. Шахно, 2002. - 28 с. - Текст : непосредственный.Волкова Е.А. Моделирование лазерно-стимулированных процессов травления и осаждения в микротехнологии / Е. А. Волкова, А. С. Ковалев, А. М. Попов, 1991. - 24 с. - Текст : непосредственный.Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. II(1463) : Лазерная размерная обработка материалов, применяемых в электронной технике : По дан.отеч.и зарубеж.печати за 1969-1989 гг.ч. 2. Обработка металлов / Т.Н.Соколова,Л.А.Сурменко, 1989. - 52 с. - Текст : непосредственный.Альтудов Ю.К. Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Ю.К.Альтудов,А.Г.Гарицын, 2001. - 631 с. - Текст : непосредственный.Верховский Е.И. Лазерная технология в производстве интегральных микросхем : Учеб. пособие для ПТУ / Е.И.Верховский, 1990. - 56 c. - Текст : непосредственный.Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 6(1440) : Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной техникеч. 1. Лазерный эрозионный факел и его основные свойства / Л.А.Сурменко,Ю.Д.Самаркин,Т.Л.Якушева,Н.Н.Федосенко, 1989. - 52 с. - Текст : непосредственный.Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 10(1543) : Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной технике : По дан.отеч.и зарубеж.печати за 1972-1989 гг.Ч. 2. Осаждение из лазерного эрозионного факела,формирование покрытия,свойства пленок / Ю.Д.Самаркин,Л.А.Сурменко,Т.Л.Якушева, 1990. - 53 с. - Текст : непосредственный.Масленицын С.Ф. Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом / С.Ф.Масленицын,В.Б.Световой, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6816 : Thermische und elektrische Leitpfade in Cordierit durch lasergestutztes Dispergieren von metallischen Hartstoffen und Wolfram : Diss. / S.Schreck, 2003. - VI,153 S. S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМануйлов В.В. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов, 1991. - 21 с. - Текст : непосредственный.Михайлов В.П. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок для повышения их производительности : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / В. П. Михайлов, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.Архангельский А.Б. Разработка высокопроизводительных алгоритмов и инструментальных средств подготовки управляющих программ для фотонаборных установок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13:05.13.16 / А. Б. Архангельский, 1995. - 24 с. - Текст : непосредственный.Кольцов Ю.И. Физико-химические исследования фоточувствительных резистных систем высокого разрешения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим.наук:02.00.04 / Ю. И. Кольцов, 1994. - 53 с. - Текст : непосредственный.Борзенко Т.Б. Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01 / Т. Б. Борзенко, 1996. - 20 с. - Текст : непосредственный.Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный.Кривоспицкий А.Д. Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / А. Д. Кривоспицкий, 1997. - 38 с. - Текст : непосредственный.Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Балашов В.Н. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / В. Н. Балашов, 1998. - 39 с. - Текст : непосредственный.Гайнуллина Н.Р. Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.21 / Н. Р. Гайнуллина, 1998. - 15 с. - Текст : непосредственный.Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный.Домненко В.М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко, 1999. - 18 с. - Текст : непосредственный.Мальцев В.П. Адгезия фоторезистов и ее влияние на процессы фотолитографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / В. П. Мальцев, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Гайфуллин Б.Н. Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур : Диссертация на соискание ученой степени канд.техн.наук в форме науч.докл.:05.13.18 / Б. Н. Гайфуллин, 2000. - 33 л. - Текст : непосредственный.Ивин В.В. Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. В. Ивин, 2000. - 22 с. - Текст : непосредственный.Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный.Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный.Грушевский А.М. Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.Соколов Д.В. Методика нанооксидирования и травления поверхности n-InGaAs с помощью атомно-силового микроскопа : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.01 / Д. В. Соколов, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный.Прудник А.М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽