• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР02-сф172
    Абрамов, Г. В. Математические модели управления процессами в тонких аэродинамических слоях при производстве изделий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.13.18,05.13.01 / Г. В. Абрамов. - Воронеж : [б. и.], 2001. - 32 с. + 100 экз. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Гос. образоват. учреждение - Воронеж. гос. технол. акад. Библиогр.: с. 29-32 (40 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002.001.57(043)
    47.01.77
    Экз-ры полностью АР02-сф172
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : СФ (1)
    Свободны: СФ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽