Приложение
для AndroidПолное описание
Ефимов, А. А. Технология и оборудование для ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев полупроводниковых материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.14 / А. А. Ефимов. - СПб. : [б. и.], 2001. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 19-20(8 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.315.592.002(043) |
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Мынбаев К.Д. Диффузионное и ионно-лучевое легирование Cd Hg Te : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / К. Д. Мынбаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Тысченко И.Е. Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физико-мат.наук:01.04.10 / И. Е. Тысченко, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Хаки Исмаиль Хаки Тахер.Воздействие радиационных дефектов на диффузию фосфора в имплантированном кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.10 / Хаки Исмаиль Хаки Тахер, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Белых Т.А. Особенности дефектообразования при имплантации ионов повышенной энергии в твердые тела : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Т. А. Белых, 1994. - 18 с. - Текст : непосредственный.Авдеев С.П. Разработка электронно-лучевой технологии изготовления малошумящих микроканальных пластин : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.05 / С. П. Авдеев, 1997. - 22 с. - Текст : непосредственный.Чернова Н.А. Примесные состояния иттербия в сплавах на основе теллурида свинца : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.09 / Н. А. Чернова, 2001. - 16 с. - Текст : непосредственный.Щербакова Е.Н. Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Е. Н. Щербакова, 2000. - 20 с. - Текст : непосредственный.Барабаненков М.Ю. Кинетика химической стадии ионно-лучевой модификации кремния и оптические мезоскопические эффекты в ионно-модифицированных структурах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:05.27.01 / М. Ю. Барабаненков, 2001. - 46 с. - Текст : непосредственный.Гумаров Г.Г. Ионно-лучевой синтез силицидов металлов подгруппы железа в кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Г. Г. Гумаров, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Джабраилов Т.А. Влияние преципитации и изоэлектронной ионной имплантации на дефектообразование в монокристаллическом кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Т. А. Джабраилов, 2001. - 17 с. - Текст : непосредственный.Ефимов А.А. Технология и оборудование для ионно-вакуумной модификации поверхностных слоев полупроводниковых материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.14 / А. А. Ефимов, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Изюмов М.О. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :05.27.01 / М. О. Изюмов, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный.Стук А.А. Разработка технологии ядерного легирования монокристаллического кремния больших размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.05 / А. А. Стук, 2000. - 25 с. - Текст : непосредственный.Кабышев А.В. Ионно-термическая модификация неорганических диэлектриков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук :01.04.07 / А. В. Кабышев, 2001. - 42 с. - Текст : непосредственный.Лысенко Л.Н. Использование нейтральных примесей, компенсированных основой, для производства монокристаллов кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / Л. Н. Лысенко, 2001. - 25 с. - Текст : непосредственный.Терентьев С.А. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.09.10,05.27.01 / С. А. Терентьев, 2002. - 16 c. - Текст : непосредственный.Бердников А.Е. Разработка и исследование технологии высокоскоростного осаждения аморфного гидрогенизированного кремния и его сплавов в плазме низкочастотного разряда : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. Е. Бердников, 2001. - 38 с. - Текст : непосредственный.Волкова С.М. Получение молекулярных пленок на основе тетракис-хелатных комплексов и аддуктов редкоземельных элементов и исследование их свойств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук :02.00.04 / С. М. Волкова, 2002. - 21 с. - Текст : непосредственный.Грушевский А.М. Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский, 2002. - 53 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыСафронов Н.В. Быстрый термический отжиг монокристаллов кремния,легированных ионами Ш-V- групп (As ,In ,и As /In ,P /In ) : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.10 / Н. В. Сафронов, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Турсунов У.С. Природа электрической активности примесей редкоземельных металлов в аморфном гидрированном кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / У. С. Турсунов, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Мельничук С.В. Локализованные состояния в электронном и колебательном спектрах полупроводников А В ,легированных 3d-элементами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.10 / С. В. Мельничук, 1991. - 28 с. - Текст : непосредственный.Рахимбаев Д. Экспериментальное исследование профиля распределения концентрации кадмия и ртути в твердотельных диффузионных зонах кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / Д. Рахимбаев, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Фарид Нассур ибн Ханна.Влияние технологических примесей на оптические и электрические свойства монокристаллов Si,подвергнутых термообработке : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Фарид Нассур ибн Ханна, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Ходжаев М.Д. Исследование дефектообразования в термообработанном и легированном никелем кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / М. Д. Ходжаев, 1991. - 17 с. - Текст : непосредственный.Тигишвили М.Г. Характеристики радиационных дефектов в GaAs,возникающих в результате имплантации селена : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / М. Г. Тигишвили, 1992. - 19 с. - Текст : непосредственный.Ковешников С.В. Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:05.27.01 / С. В. Ковешников, 1992. - 18 с. - Текст : непосредственный.Казаков А.И. Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.06 / А. И. Казаков, 1992. - 36 с. - Текст : непосредственный.Курбакова Н.К. Взаимосвязь между условиями синтеза,нестехиометрией и свойствами полупроводникового теллурида кадмия : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук:05.27.06 / Н. К. Курбакова, 1992. - 15 с. - Текст : непосредственный.Чу Чор.Диффузия и механизмы растворимости примесей (цинка,индия) в твердых растворах теллурида свинца-теллурида олова : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Чу Чор, 1992. - 14 с. - Текст : непосредственный.Калягин М.А. Взаимодействие эрозионной лазерной плазмы с поверхностью кристаллов:модификация Si и формирование пленок YBa Cu O : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / М. А. Калягин, 1992. - 13 с. - Текст : непосредственный.Эм А.С. Особенности динамики нагрева и моделирования процесса наносекундного импульсного лазерного облучения полупроводников в режимах развитого плавления : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / А. С. Эм, 1992. - 26 с. - Текст : непосредственный.Лозовский А.Д. Термодесорбция газов с модифицированных поверхностей кремния,подвергнутых воздействию паров воды : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.17 / А. Д. Лозовский, 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.Новиков Е.Б. Формирование сульфидного пассивирующего покрытия на поверхности полупроводников А В : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.:01.04.10 / Е. Б. Новиков, 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.Ишкалов Ж.Т. Исследование влияния парарметров реактивного магнетронного распыления на электронные свойства аморфного гидрированного Si,Ge и расплавов на их основе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.10 / Ж. Т. Ишкалов, 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.Оганесян Г.А. Энергетический спектр и процессы трансформации новых термодоноров в кремнии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.10 / Г. А. Оганесян, 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный.Дорожкин С.И. Рост слитков и эволюция пор в карбиде кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.10 / С. И. Дорожкин, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный.Сергеева Ж.М. Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.навук:05.27.06 / Ж. М. Сергеева, 1994. - 15 с. - Текст : непосредственный.Тюнина М.А. Модификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.07 / М. А. Тюнина, 1993. - 24 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽