• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР01-6929
    Добрынин, А. В. Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.06 / А. В. Добрынин. - М. : [б. и.], 2001. - 34 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 32-34(38 назв.)
    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592-047.84(043)
    Экз-ры полностью АР01-6929
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽