• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР01-6084
    Васин, В. А. Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / В. А. Васин. - М. : [б. и.], 2000. - 22 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 19-21(22 назв.)
    ГРНТИ УДК
    81.29.14621.52.002.5(043)
    Экз-ры полностью АР01-6084
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽